KAIJO 株式会社 楷捷高频超声波清洗机HIMEGASONIC
KAIJO 株式会社 我们将通过基于超声波应用技术的开发和商业化为社会发展做出贡献。 除了多年来制造和销售超声波清洗机外，我们还开发和制造了水共振系统“WRS和WRS-F”..该系统可以通过重整清洗水来显着提高超声波清洗效果，并正在培育全面改善清洗的技术萌芽。 我们相信，超声波能量的应用必将为工业发展做出贡献。..KAIJO高频超声波清洗机HIMEGASONIC产品简介: Si圆片、GaAs的清洗
我们将通过基于超声波应用技术的开发和商业化为社会
发展做出贡献。 除了多年来制造和销售超声波清洗机外
，我们还开发和制造了水共振系统“WRS和WRS-F”
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该
系统可以通过重整清洗水来显着提高超声波清洗效果，
并正在培育全面改善清洗的技术萌芽。 我们相信，超声
波能量的应用必将为工业发展做出贡献。
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.KAIJO高频超声波清洗机HIMEGASONIC产品简介:
Si圆片、GaAs的清洗,液晶玻璃及其其他玻璃面罩的清洗,硬盘清洗,石英
振荡器清洗,薄膜磁头清洗,脆性材料等的超精密超声波清洗.
Haimega除去小于45纳米时所需的超微粒、如半导体和液晶显示器.
特点■振荡器
●内置
自诊断功能(CPU)可以反馈集中控制(RS485,D-NET),输出的运行状态,
可以与上位机进行通信交流内脏CPU.
●数字显示输出 的3位数字显示,运行状态管理的管理,可以进行高精度始终是可能的.
●较低的判断功能,
可以执行上的上限和下限的报警显示,状态显示振荡也有可能是触点输出.
●自动跟踪方法PLL频率
深种溶液,液体：KAIJO自己PLL的方案,其振荡频率为自动优化
等(高达70度),有可能 发生变化的液体的温度.
● 功率MOS FET的高效率振荡,振荡的高效率是可能的.
●损伤小,
可控制的精细图案的最佳状态,我们应对200/300mm晶圆清洗.
发振器配置
项目
规格
型号名称
68101
78101
78102
输出功率
600W
900W
900W
工作频率
950KHZ
950KHZ
750KHZ
发振方式
VCO
频率调整
自動追尾PLL方式
工作显示
3位七段LED显示
远程控制机构
有
使用环境温度
0～40℃
使用环境湿度
0～80%
工作电源
AC200V 6A
AC200V 9.5A
AC200V 9.5A
外形尺寸
3200×5200×144
460×500×143
460×500×143
重量
約17㎏
約25㎏
振动板配置
使用规格
6寸晶圆
8寸晶圆
12寸晶圆
振动板规格
7857S
8857S
98SL
额定输入
300Wx4
300Wx6
300Wx16
频率
950kHz
950kHz
750kHz
振动辐射面(mm)
136x163
165x215
275x319
振动板材质
SU316L
使用最高温度
70℃
外形尺寸
185x215x55
255x305x55
410x340x65
固定方式
螺丝固定
特点■隔膜
●振动元件是大P. Z.由于振动元件T,有没有不均匀清洗.
●非常高的功率密度,清洁能力非常出色.(5.4W /约2厘米)的
厚度,因为它是厚
●具有优良的机械强度,寿命长,省心,还内置了洗涤槽.
●高效率声几乎没有损失.
●少的接缝的装置,最好的清洗效果可以预期.
●SU304,316,316 L为三种类型的材料是准备就绪
特点■洗涤槽
●商品化的超声波浴石英振子直接键合到石英容器.
相比传统的双室超声波照射(1.2倍以上相比,我们的)强.这是的唯一技术Kaijo.
●支持两种类型的室温(50℃最高),高温(80℃最高)是可以使用的液体温度.
●我们还生产不锈钢水槽.
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Kaijo的超声波清洗机具有从19.5kHz到3MHz的广泛工作
频率阵容。
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除了选择满足客户需求的超声波清洗机，例如耐油脂污
渍的工业清洗用><，精密清洗用<，适用于半导体，电子
，精密仪器等制造工艺>，以及<用于研发>，可以在实验
室等中轻松使用，我们还通过多年经验培养的解决方案
为工业清洗提供全面支持。